Компенсатор
01
Қуатты вакуум өрісіне арналған сильфон компенсаторы
Өнім функциялары
Вакуумдық тығыздық: Жоғары дәлдіктегі дәнекерлеу технологиясын және арнайы тығыздау құрылымын қолдана отырып, олар 10⁻⁸ Па·м³/с-тан 10⁻¹¹ Па·м³/с-қа дейінгі жоғары вакуумдық ортада ағып кетудің болмауын қамтамасыз етеді, жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік жүйелер сияқты салалардың қатаң талаптарына сай келеді.
Ығысуды өтеу: Сильфондардың серпімді деформациясы арқылы олар осьтік, бүйірлік және бұрыштық ығысуларды сіңіреді, жылу кеңеюі/жиырылуы немесе жабдықтың дірілдеуінен туындаған құбырлардағы кернеудің шоғырлануын болдырмайды және жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзартады.
Діріл мен шуды азайту: Икемді құрылым вакуумдық сорғылар мен турбомолекулалық сорғылар сияқты жабдықтар арқылы берілетін діріл мен шуды тиімді түрде азайта алады, бұл жүйенің жұмысының тұрақтылығын арттырады.
Коррозия және жоғары температураға төзімділік: Тот баспайтын болаттан немесе арнайы қорытпалардан жасалған олар коррозиялық газдарға (мысалы, CVD процестеріндегі қышқыл газдар) және жоғары температуралы орталарға (-200℃-тан +450℃-қа дейін) жарамды.
Қолдану ауқымы
Жартылай өткізгіштер және электроника өнеркәсібі: Вакуумдық құбырларды қосуда пластина өндірісінде, оюда, жабындауда (PVD/CVD) және т.б. жабдықтарға қолданылады, бұл жоғары тазалықты және ластанудан таза берілуді қамтамасыз етеді.
Вакуумдық сорғы жүйелері: діріл мен жылулық ығысуларды өтеу және тығыздау өнімділігін жақсарту үшін түбірлік сорғыларға, айналмалы қалақшалы сорғыларға, молекулалық сорғыларға және т.б. қосылған.
Вакуумдық клапандар және камера қосылымдары: Вакуумдық жабын машиналарында және электронды-сәулелік дәнекерлеу жабдықтарында олар клапандар мен камералар арасындағы икемді өтпелі компоненттер ретінде қызмет етеді, қатты қосылыстардан туындайтын ағып кету қаупін болдырмайды.
Ғылыми зерттеулер және медициналық жабдықтар: жоғары вакуумды ортаның тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін бөлшектердің үдеткіштері, электронды микроскоптар және вакуумдық кептіргіштер сияқты дәлдіктегі құралдарда қолданылады.
Жаңа энергетика және фотоэлектрлік өнеркәсібі: күн батареяларын жабу және литий батареяларын вакуумдық кептіру сияқты процестерде қолданылады, жоғары температура мен химиялық коррозиялық ортаға төтеп береді.
Өнімнің артықшылықтары
Вакуумдық бейімделгіштігі жоғары: 10⁻¹¹Pa·m³/с дейінгі ультра жоғары вакуум талаптарына сай, газдан тыс ластанусыз.
Ұзақ мерзімді дизайн: ≥10 000 цикл шаршауға төзімді көп қабатты сильфон құрылымы.
Бірнеше қосылым әдістері: фланецтер (KF/CF), дәнекерлеу немесе жылдам қосылу интерфейстері, әртүрлі вакуумдық стандарттармен (ISO/DIN) үйлесімді.
Теңшеу қызметтері: Әр түрлі калибрлерді (DN10~DN500), ұзындықтарды және арнайы материалдарды (мысалы, Hastelloy) теңшеуді қолдау.
Тот баспайтын болаттан жасалған вакуумдық сильфондар вакуумдық жабдықтың тиімді және тұрақты жұмысын қамтамасыз ететін негізгі компоненттер болып табылады, жоғары тазалық пен дәлдік талаптары бар өнеркәсіптік және ғылыми зерттеу салаларына жарамды. Техникалық параметрлер немесе таңдау бойынша қолдау алу үшін біздің кәсіби командамызға хабарласыңыз!